下载掩模式只读存储器的结构及其制造方法的技术资料

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一种罩幕式只读存储器的结构及其制造方法,此结构包括一基底;一埋入式位线,配置在基底中;一图案化的堆栈层,配置在部分基底的表面上,其中此堆栈层由一第一介电层、一终止层以及一第二介电层所构成;一栅氧化层,配置在部分基底的表面上;以及一字符线,横...
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