下载用于电化学机械抛光的导电抛光部件的技术资料

文档序号:3209782

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一种球体组件,包括:具有内部通道的外壳;在外壳的第一端且延伸进内部通道的环形座;球体,其设置在外壳中并由座阻止其脱离外壳;耦合于外壳第二端的导电适配器;和电耦合适配器和球体的接触元件。...
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