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文档序号:3209725
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(图1、2,实施例1,用无定形Si作为电阻,在接触上设置硅化物)一种半导体器件,其特征在于: 包括以硅膜作为材料的电阻〈30、31〉, 上述电阻的至少表面部分是无定形硅〈31、33〉, 在上述表面部分中的接触栓的连接部形成...
该专利属于株式会社瑞萨科技所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社瑞萨科技授权不得商用。
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