下载半导体器件的技术资料

文档序号:3209725

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(图1、2,实施例1,用无定形Si作为电阻,在接触上设置硅化物)一种半导体器件,其特征在于:    包括以硅膜作为材料的电阻〈30、31〉,    上述电阻的至少表面部分是无定形硅〈31、33〉,    在上述表面部分中的接触栓的连接部形成...
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