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利用将对处理炉（２）进行排气的排气系统（１５）内的排气压力作为与大气压的差压而进行检测的差压计（２３）、和作为绝对压力检测大气压的气压计（３１），将排气压力作为绝对压力而检测。根据检测的绝对排气压力，调节压力可变阀（２５）的开度，由此来调整...
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