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一种光刻投影装置，包括：　　　　－用于提供射线投影束的一辐射系统；　　　　－支撑图案形成部件的一支撑结构，该图案形成部件用于使投影束形成所需要的图案；　　　　－用于保持基底的一基底台；　　　　－一投影系统，用于将已形成图案的光束投影到基底的...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。

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