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用于产生宽带辐射的基于中空芯部光子晶体光纤的光学部件制造技术
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下载用于产生宽带辐射的基于中空芯部光子晶体光纤的光学部件的技术资料
文档序号:32094904
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本发明公开一种宽带光源装置,被配置为用于产生宽带或白光输出。宽带光源装置包括气室和至少部分地包括在气室内的中空芯部光子晶体光纤。气体混合物被包括在气室和中空芯部光子晶体光纤内。气体混合物包括至少一种拉曼活性分子气体,其构成气体混合物的2%以...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。
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