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本发明提供一种具有覆盖层的熔丝及其形成方法,首先提供一具有内连线及熔丝结构的基底,在基底上形成由第一介电层、停止层及第二介电层组成的覆盖层,在覆盖层上形成一露出内连线表面的第一开口,第一开口上形成有突出覆盖层表面的金属焊垫,并在金属焊垫及覆...该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种具有覆盖层的熔丝及其形成方法,首先提供一具有内连线及熔丝结构的基底,在基底上形成由第一介电层、停止层及第二介电层组成的覆盖层,在覆盖层上形成一露出内连线表面的第一开口,第一开口上形成有突出覆盖层表面的金属焊垫,并在金属焊垫及覆...