下载CMOS元件及其制造方法的技术资料

文档序号:3209435

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本发明涉及一种CMOS元件,其结构包括将压缩或拉伸应力材料层设于PMOS晶体管表面,并将拉伸应力材料层设于NMOS晶体管表面。本发明并提供上述的CMOS元件的制造方法。...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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