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提供一种用于处理衬底的设备和方法，其中该设备包括用于在处理环境内传送衬底的至少一个衬底承载部件；设置在处理环境中的至少一个温度控制板与至少一个衬底承载部件选择连通并用于在处理环境中从外部衬底传送装置向衬底承载部件传送衬底和调整处理环境的温度...
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