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半导体晶片及其制造方法技术
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文档序号:3209300
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本发明的课题是,在晶片周边部进行倒角加工,其后至少在主面侧进行了镜面加工的半导体晶片(W),在晶片周边部,具有对主面(10)的倾角(θ)为5°以上、25°以下,而且晶片半径方向的长度(L)为100μm有非镜面部分(21b)。...
该专利属于株式会社日矿材料所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社日矿材料授权不得商用。
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