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文档序号:3209233
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一种含水清洁组合物,其含有烷醇胺、氢氧化四烷基铵、非金属氟化物盐、防腐蚀剂(抗坏血酸或其衍生物单独或结合使用)、余量的水。这样的清洁组合物能在低温下有效地去除由等离子处理产生的残留物,这些残留物包括有机、金属有机材料、无机盐、氧化物、氢氧化...
该专利属于ESC公司所有,仅供学习研究参考,未经过ESC公司授权不得商用。
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