下载半导体器件的制造方法的技术资料

文档序号:3209211

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提供一种半导体器件的制造方法,可以抑制因硅化物的形成而使漏电流增加。将抑制硅化物反应的杂质(抑制杂质)、例如锗从其上面导入源漏区16、36。接着,在源漏区16、36中,使比抑制杂质分布的区域50还浅的区域变成硅化物,在源漏区16、36形成硅...
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