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条件式返工生产流程的控制方法技术
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文档序号:3209029
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一种条件式重工生产流程的控制方法,用以控制一批晶片于一主流程上所进行的工艺,该主流程包括一前站及一后站,其中该前站具有一重工流程,而该后站具有一指定机台,其特征是,该控制方法包括下列步骤: 设定一条件式重工机制; 当该批晶片进入...
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