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一种Ｒｕｎｃａｒｄ情况下半导体设备的污染控制方法，首先，接收一Ｒｕｎｃａｒｄ，并取得执行母批货的设备机台的污染状态。若污染状态并非为后端共享时，则设定相应执行Ｒｕｎｃａｒｄ的制程定义与制程阶段的污染状态为执行母批货的设备机台的污染状态。当执...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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