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一种光刻装置，包括：　　　　－一辐射系统，用来提供辐射投影束；　　　　－一支撑结构，用来支撑作图装置，该作图装置用于按所需的图形对投影束作图；　　　　－一衬底台，用来保持衬底；　　　　－一投影系统，用来将已作图的束投影到衬底的目标部分上；　...
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