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一种器件制造方法，包括：　　　　－提供衬底；　　　　－采用照明系统来提供辐射投影光束，所述投影光束在物面内的横截面由光束掩蔽装置来限定；　　　　－在所述物面处采用图案形成装置来使所述投影光束的横截面具有一定的图案；和　　　　－在沿扫描方向扫...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。

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