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存储器的制造方法技术
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文档序号:3208727
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一种存储器的制造方法,其特征是,该方法包括下列步骤: 提供一基底,且于该基底上至少形成有一字符线; 以一不使用等离子源的化学气相沉积法,在该基底上形成一衬氧化层以覆盖该基底与该字符线;以及 在该衬氧化层上形成一介电层,其中...
该专利属于旺宏电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过旺宏电子股份有限公司授权不得商用。
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