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在利用等离子体蚀刻处理对被处理物进行微细加工的等离子体处理容器内配置的等离子体处理容器内部件，作为前处理，利用使用等离子体放电的阳极氧化处理在该处理容器内部件的基材（１０１）的表面形成氧化处理层（１１１）后，在该氧化处理层（１１１）之上，形...
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