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等离子体处理装置的基座（１０）、即基板台的静电吸盘（１２）通过陶瓷喷涂形成。陶瓷喷涂层（１２Ａ）被甲基丙烯酸树脂（１２Ｄ）进行封孔。通过使以甲基丙烯酸甲酯为主要成分的树脂原料液涂覆含浸在陶瓷喷涂层中并使其硬化，陶瓷喷涂层的陶瓷粒子之间的气孔...
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