下载探针片、探针卡及半导体检查装置的技术资料

文档序号:3208608

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一种探针片,其特征在于包括:    与设置于晶片上的电极接触的接触端子,    从该接触端子引出的布线,和    与该布线电连接的电极焊盘,    该电极焊盘的间距比该接触端子的间距更宽。...
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