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探针片、探针卡及半导体检查装置制造方法及图纸
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文档序号:3208608
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一种探针片,其特征在于包括: 与设置于晶片上的电极接触的接触端子, 从该接触端子引出的布线,和 与该布线电连接的电极焊盘, 该电极焊盘的间距比该接触端子的间距更宽。...
该专利属于株式会社瑞萨科技所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社瑞萨科技授权不得商用。
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