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半导体器件、动态型半导体存储器件及半导体器件的制法制造技术
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文档序号:3208594
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一种半导体器件,其特征在于,具有存储单元, 所述存储单元具有 在半导体基板的主表面形成的凸起形状的半导体层、 在所述半导体层的一部分形成的第一导电型的沟道区、 夹住所述沟道区的两侧,在所述半导体层中形成的第二导电型的...
该专利属于株式会社东芝所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社东芝授权不得商用。
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