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一种带电粒子束绘图装置的缩小率测定方法，其特征在于：包括，　　　　在载置于带电粒子束绘图装置的掩模台架上的掩模的开口部分位于第１开口位置的状态下，并在掩模台架座标系下测定上述掩模台架的第１台架位置的步骤；　　　　在试样台架座标系下测定由位于...
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