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防充电的模板掩膜及其制造方法技术
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文档序号:3208552
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一种模板掩膜,包括: 其上带有开口的导电薄膜; 在不包括开口的导电薄膜区域内形成的绝缘膜; 在所述绝缘膜上形成的导电支座; 穿过所述绝缘膜而形成的、使所述导电支座和所述导电薄膜电连接的导电元件。...
该专利属于株式会社东芝所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社东芝授权不得商用。
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