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本发明是关于一种包括抛光垫基材及至少一种固体催化剂的抛光垫，该抛光垫是用于从基材移除金属层。...
该专利属于卡伯特微电子公司所有，仅供学习研究参考，未经过卡伯特微电子公司授权不得商用。

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