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一种厚膜图形化ＳＯＩ材料的制备方法，先采用ＳＩＭＯＸ技术在体硅中注氧隔离形成薄膜图形化ＳＯＩ材料，其特征在于然后利用ＣＶＤ气相外延生长方法在衬底的表层形成单晶硅薄膜、锗硅薄膜或砷化镓薄膜中的一种。...
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