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一种在半导体元件的制作工艺中防止钨插塞腐蚀的方法，其中在基底上已形成有钨插塞，且钨插塞与形成在基底上的导线耦接。然后，利用除电装置处理基底，以除去在导线蚀刻制作工艺中累积在导线表面上的电荷。之后，进行一湿式清洁步骤。...
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