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一种等离子体处理容器内部件，具有基材和在其表面通过喷镀陶瓷而形成的膜，其特征在于，　　　　构成所述膜的陶瓷含有选自Ｂ、Ｍｇ、Ａｌ、Ｓｉ、Ｃａ、Ｃｒ、Ｙ、Ｚｒ、Ｔａ、Ｃｅ和Ｎｄ中的至少１种元素，其中，至少一部分由树脂进行封孔处理。...
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