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本发明包括一种用于电容性地检测支撑结构上的物体２１的检测组件２０，包括至少一个设置在支撑结构２３附近的电极２５和至少一个连接到至少一个电极２５的电缆２９，所述至少一个电缆２９具有第一导线２８和第二导线２６，所述第一导线２８连接到串联连接的Ｄ...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。

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