【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及用于电容性地检测支撑结构上的物体的检测组件，包括至少一个设置在支撑结构附近的电极和至少一个电缆，所述至少一个电缆具有第一导线和第二导线，所述第一导线的第一端连接到所述至少一个电极并且第二端连接到第一AC电源，以及一个控制装置，该装置设置用于为电容性地检测所述物体而控制所述第一AC电源，使其通过所述第一导线为所述至少一个电极提供具有第一振幅和第一相位的预定的第一AC电压。
技术介绍
在光刻投影装置中提供这样的组件特别有益。因此，下文仅以实例的方式通过这样的一种光刻装置来说明本专利技术。在光刻投影装置中，通常通过测量包括至少连接到支撑结构的电缆和支撑结构本身的组件的电容来检测支撑结构上的物体的存在。不可能仅测量支撑结构的电容，因为支撑机构的电容的测量是通过电缆进行的，并且因而受电缆以及可能受与支撑结构电接触的其它部件的影响。特别是，电缆将相当高的附加电容引入该测量中。可是，需要该电缆给用于在物体上施加所需静电夹持力的电极通电。附加电容的存在使精确地形成支撑结构的相对较小的电容变得困难，并且该电容还依照物体的位置变化。其中，因为下述原因，能够精确地测量...
【技术保护点】
一种用于电容性地检测支撑结构（２３）上的物体（２１）的检测组件（２０），包括至少一个设置在支撑结构（２３）附近的电极（２５）和至少一个电缆（２９），所述至少一个电缆（２９）具有第一导线（２８）和第二导线（２６），所述第一导线（２８）的第一端连接到该至少一个电极（２５）并且第二端连接到第一ＡＣ电源（３３），还包括一个控制装置（３７），该装置设置用于为电容性地检测所述物体（２１）而控制所述第一ＡＣ电源（３３），以通过所述第一导线（２８）为所述至少一个电极（２５）提供具有第一振幅和第一相位的预定的第一ＡＣ电压，其特征在于：所述组件（２０）包括连接到所述第二导线（２６）的第二ＡＣ电...
【技术特征摘要】
EP 2003-1-15 03075128.31.一种用于电容性地检测支撑结构(23)上的物体(21)的检测组件(20)，包括至少一个设置在支撑结构(23)附近的电极(25)和至少一个电缆(29)，所述至少一个电缆(29)具有第一导线(28)和第二导线(26)，所述第一导线(28)的第一端连接到该至少一个电极(25)并且第二端连接到第一AC电源(33)，还包括一个控制装置(37)，该装置设置用于为电容性地检测所述物体(21)而控制所述第一AC电源(33)，以通过所述第一导线(28)为所述至少一个电极(25)提供具有第一振幅和第一相位的预定的第一AC电压，其特征在于所述组件(20)包括连接到所述第二导线(26)的第二AC电源(35)，所述控制装置(37)设置成控制所述第二AC电源(35)以向所述第二导线(26)提供预定的第二AC电压，所述第二AC电压具有分别与第一振幅和第一相位基本相等的第二振幅和第二相位。2.根据权利要求1的检测组件(20)，其特征在于，在所述第一导线(28)中包括与所述第一AC电源(33)串联的DC电源(31)，用于将预定的DC电压提供给所述至少一个电极(25)以在所述物体(21)上提供夹持力。3.根据权利要求1或2的检测组件(20)，其特征在于，物体(21)是晶片和分划板中的一个。4.根据前面任何一项权利要求所述的检测组件(20)，其特征在于，电缆(29)的第一导线(28)至少部分地被电缆(29)的第二导线(26)封闭。5.根据权利要求4的检测组件(20)，其特征在于，第二导线(26)至少部分地被第三接地导线封闭。6.根据前面任何一项权利要求所述的检测组件(20)，其特征在于，用具有单一放大率的放大电路从第一AC电压获得第二AC电压。7.一种包括前面任何一项权利要求所述检测组件(20)的光刻装置(1)。8.根据权利要求7所述的光刻投影装置(1)，其特征在于，该光刻投影装置(1)还包括用于移动支撑结构(23)的致动器(41)，所述致动器(41)连接到控制装置(37)，所述控制装置(37)设置成控制致动器(41)，使其在确定夹持力在预定值之上以后移动支撑结构(23)。9.根据权利要求7或8所述的光刻投影装置(1)，其特征在于，该光刻投影装置(1)还包括用于移动支撑结构(23)的致动器(41)，所述致动器(41)连接到控制装置(37)，所述控制装置(37)设置成确定物体(21)上的夹持力，并且从而给致动器(41)提供所述物体(21)的加速度的最大值。10.用于电容性地检测支撑结构(23)上的物...
【专利技术属性】
技术研发人员：PAJ廷内曼斯，
申请(专利权)人：ASML荷兰有限公司，
类型：发明
国别省市：NL[荷兰]
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