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切割晶片的方法技术
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文档序号:3208314
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一种切割晶片的方法,其中在一面上形成有多个电子电路的晶片被切割成各个半导体芯片,该方法包括以下步骤:用光敏抗蚀剂层涂覆与形成有多个电子电路的一面相对的晶片的另一面,沿用于随后切断晶片的切割线,在形成有电子电路的一面,用能够穿过晶片的辐射线照...
该专利属于新光电气工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过新光电气工业株式会社授权不得商用。
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