温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种用于平面显示设备的基片加工系统中的基片传输设备，它包括用于传送基片的多个传送轴，这些传送轴位于用于处理基片的工作区中；和位于传送轴下的用于防止传送轴下垂的下垂预防装置。...
该专利属于显示器生产服务株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过显示器生产服务株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。