下载半导体器件的技术资料

文档序号:3208307

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一种半导体器件,其特征在于:    具备:    依次层叠了支撑基板、氧化膜层和SOI(绝缘体上的半导体)层的SOI衬底;以及    包含在上述SOI层上形成的栅绝缘膜、在上述栅绝缘膜上形成的栅电极、在上述SOI层内在与上述栅电极的下方部分...
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