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本发明提供一种用于支撑玻璃衬底的设备。在一个实施例中，提供基片支撑部件（５０），它具有基底结构部件（５２）和上顶部（５４），上顶部（５４）上具有表面，该表面适于使衬底支架和在其上支撑的玻璃衬底之间的摩擦和／或化学反应最小。衬底支架可用于各种...
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