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用简易的结构高速地评价高纵横比的微细的布线图形沟槽中的金属的埋入状态。参照晶片（Ｗ）的金属膜（ＭＦ）的成膜时的目标厚度设定提供给涡流损失传感器（１１）的高频电流的频率（步骤Ｓ１），用涡流损失传感器（１１）以横穿形成了布线图形沟槽（Ｇｒ）的区...
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