下载晶片转移装置和晶片转移方法的技术资料

文档序号:32081811

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本发明涉及半导体设备技术领域,公开了一种晶片转移装置和晶片转移方法。其中,晶片转移装置包括:吸附机构、驱动机构、第一载台、以及第二载台;第一载台和第二载台间隔开设置;吸附机构包括操作头主体,操作头主体为内部中空的主体腔体,操作头主体的外壁上...
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