下载半导体器件的技术资料

文档序号:3208135

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本发明的课题是得到能恰当地避免隔离耐压的降低而又没有结电容的增加等的弊端的半导体器件及其制造方法。通过形成凹部14预先使硅层3薄膜化以后,形成杂质导入区11。从而,在位于元件隔离绝缘膜5的底面与BOX层2的上表面之间的部分的p型硅层3内,由...
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