下载具有存储功能的单电子晶体管及其制造方法的技术资料

文档序号:3208093

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一种具有存储功能的单电子晶体管,包括:    顺序叠置的第一衬底和绝缘膜;    叠置在该绝缘膜上并包括源极区、沟道区和漏极区的第二衬底;    形成在第二衬底上的隧穿膜;    以一间隔形成在该隧穿膜上的至少两个俘获层,在该间隔中可在沟道...
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