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一种沉积温度的检测方法，适用于检测化学气相沉积机台的反应室的沉积温度，包括：于反应室中置入待沉积物；于待沉积物上形成金属硅化物层；测量金属硅化物层的硅／金属原子比；以及将硅／金属原子比代入硅／金属原子比对温度的关系式以求得沉积温度。通过上述...
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