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闪存的制造方法技术
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文档序号:3208047
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一种闪存的制造方法,此方法在基底上依序形成穿遂介电层与导体层,之后图案化此导体层,以形成浮置栅极(floating gate),然后于此浮置栅极两侧的基底中形成源极/漏极区。接着,形成一栅间介电层,此栅间介电层之中包含一氧化层,该氧化层以实...
该专利属于旺宏电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过旺宏电子股份有限公司授权不得商用。
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