下载闪存的制造方法的技术资料

文档序号:3208047

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一种闪存的制造方法,此方法在基底上依序形成穿遂介电层与导体层,之后图案化此导体层,以形成浮置栅极(floating gate),然后于此浮置栅极两侧的基底中形成源极/漏极区。接着,形成一栅间介电层,此栅间介电层之中包含一氧化层,该氧化层以实...
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