温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

公开了一种光刻装置（１），其包括可夹紧物体（Ｗ；ＭＡ；５）的支撑结构（ＭＴ；ＷＴ）。支撑结构（ＭＴ；ＷＴ）和夹紧于其上的物体（Ｗ；ＭＡ；５）形成了隔腔。供给装置（１１）与隔腔相连并为隔腔提供流体。供给装置（１１）包括仪表（１５），其可测量流...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。