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电可擦除可编程只读存储器单元及其制造方法技术
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文档序号:3208014
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本发明提供了电可擦除可编程只读存储器(EEPROM)单元及其制造方法。EEPROM单元包括:形成在半导体衬底上的、用来限定有源区的隔离层;在有源区中顺次设置的源区、掩埋N↑[+]区和漏区。所配置的存储栅横跨掩埋N↑[+]区。第一沟道区形成在...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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