下载具有静电放电保护的齐纳二极管的双扩散金属氧化物半导体场效应晶体管的技术资料

文档序号:3207958

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一种具有过电压保护的沟槽DOMS晶体管,其包括第一导电类型的衬底和在衬底上形成的第二导电类型的主体区域(116)。至少一个沟槽(124),其延伸通过主体区域和衬底。绝缘层和沟槽在一条直线上,并且叠加在主体区域上。该传导电极在沟槽里沉积,使得...
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