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自对准紧凑双极型结式晶体管布局及其制造方法技术
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文档序号:3207957
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本发明涉及一种包括在衬底上形成拓扑结构的双极型结式晶体管(BJT)的形成工艺。接着,在拓扑结构处形成隔片。外延硅的基极层形成在隔片上方的拓扑结构处。通过从隔片的外扩散,在衬底中形成漏流阻挡结构。接着,完成具有基极层和隔片的BJT。...
该专利属于英特尔公司所有,仅供学习研究参考,未经过英特尔公司授权不得商用。
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