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文档序号:3207941
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本发明可获得能避免栅极电极所连接的接触插塞和源极.漏极区短路的半导体装置。用光刻胶8覆盖而未刻蚀的部分的多晶硅膜7,形成平板型的多晶硅膜10。多晶硅膜10在元件分离绝缘膜2的第1部分上形成。另外,多晶硅膜10与多晶硅膜9连接。接触插塞24在...
该专利属于株式会社瑞萨科技所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社瑞萨科技授权不得商用。
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