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一种相移掩模，其特征在于：　　　　包括：　　　　由透过曝光光的材料构成的基板（１）；以及　　　　在上述基板（１）上形成、并且具有露出上述基板（１）的一部分表面的开口部（２ａ）的中间色调遮光膜（２），　　　　透过上述中间色调遮光膜（２）的曝光...
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