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本发明的目的是比现有技术更迅速地进行基板处理装置的部件更换。本发明的处理装置是由多个构成部件构成、对基板进行规定处理的处理装置，对各构成部件分别附以识别标记，该处理装置具有：与识别标记对应地对在订购构成部件时所需要的各构成部件的部件信息进行...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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