一种涂敷显影处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术的目的是比现有技术更迅速地进行基板处理装置的部件更换。本发明专利技术的处理装置是由多个构成部件构成、对基板进行规定处理的处理装置，对各构成部件分别附以识别标记，该处理装置具有：与识别标记对应地对在订购构成部件时所需要的各构成部件的部件信息进行存储的存储部；用于输入要订购的构成部件的识别标记的输入部；以及显示与输入的识别标记对应的、存储部中的部件信息的显示部。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及基板的处理装置及运送装置调整系统。
技术介绍
半导体器件的制造是用设置在工厂内的涂敷显影处理装置、曝光装置、刻蚀装置等进行的。例如，用涂敷显影处理装置进行半导体器件制造中的光刻工序，在该涂敷显影处理装置中通常安装了在晶片表面形成抗蚀剂膜的抗蚀剂涂敷单元；对曝光后的晶片进行显影的显影处理单元；以及在抗蚀剂涂敷后、显影处理前后等进行热处理的热处理单元等多个处理单元。另外，在该涂敷显影处理装置中设置了多种运送臂，借助于这些运送臂在各处理单元之间进行基板运送和规定的处理单元内的处理液供给喷嘴等的运送。但是，当在这种涂敷显影处理装置中出现不良情况时，若该不良情况不能迅速消除，则晶片处理恢复迟缓，致使涂敷显影处理装置的工作效率降低，这是不希望的。例如，在构成上述涂敷显影处理装置的部件损坏等情况下，为了更换该部件，晶片制造厂方的装置管理人员必须从部件出售者等处订购部件。这时，为了订购该部件，装置管理人员需要确定损坏部件的名称、部件代号等。但是，如上所述，涂敷显影处理装置有多种处理单元，由许多部件构成。另外，进行订购的晶片制造厂方的装置管理人员通常对涂敷显影处理装置的部件并不精通。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板处理装置，它是由多个构成部件构成、对基板进行规定处理的基板处理装置，其特征在于：　对上述各构成部件分别附以识别标记，该基板处理装置具有：与上述识别标记对应地对在订购构成部件时所需要的上述各构成部件的部件信息进 行存储的存储部；用于输入要订购的构成部件的识别标记的输入部；以及显示与上述输入的识别标记对应的、上述存储部中的部件信息的显示部。

【技术特征摘要】
JP 2001-7-12 212178/2001;JP 2001-7-19 219177/20011.一种基板处理装置，它是由多个构成部件构成、对基板进行规定处理的基板处理装置，其特征在于对上述各构成部件分别附以识别标记，该基板处理装置具有与上述识别标记对应地对在订购构成部件时所需要的上述各构成部件的部件信息进行存储的存储部；用于输入要订购的构成部件的识别标记的输入部；以及显示与上述输入的识别标记对应的、上述存储部中的部件信息的显示部。2.如权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于具有经因特网从上述处理装置卖方的主存储部取得上述存储部中的部件信息的通信部。3.如权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于在上述部件信息中包含上述构成部件的图像信息。4.如权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于具有经因特网取得上述要订购的构成部件的库存信息的取得部。5.一种基板处理装置，它是由多个构成部件构成、对基板进行规定处理的基板处理装置，其特征在于对上述各构成部件分别附以识别标记，该基板处理装置具有用于在订购构成部件时输入该构成部件的上述识别标记的输入部；经因特网向上述处理装置的卖方发送上述输入的识别标记的发信部；对根据上述发送的识别标记经因特网从上述卖方发送的涉及上述构成部件的部件信息进行接收的接收部；以及显示上述接收到的部件信息的显示部。6.如权利要求5所述的基板处理装置，其特征在于在上述部件信息中包含上述构成部件的图像信息。7.如权利要求5所述的基板处理装置，其特征在于具有经因特网取得上述要订购的构成部件的库存信息的取得部。8.一种基板处理装置，它是由多个构成部件构成、对基板进行规定处理的基板处理装置，其特征在于具有对在订购构成部件时所需要的上述各构成部件的部件信息和用于确定上述各构成部件的确定信息进行存储的存储部；用于输入要订购的构成部件的确定信息的输入部；从上述存储部中检索与上述输入的确定信息一致的构成部件的检索部；以及显示上述检索出的构成部件的构成部件候选信息，显示从该构成部件候选信息中选择的构成部件的上述存储部中的部件信息的显示部。9.如权利要求8所述的基板处理装置，其特征在于在上述构成部件候选信息中包含上述构成部件的图像信息。10.如权利要求8所述的基板处理装置，其特征在于在上述部件信息中包含上述构成部件的图像信息。11.如权利要求8所述的基板处理装置，其特征在于具有经因特网取得上述要订购的构成部件的库存信息的取得部。12.一种基板处理装置，它是由多个构成部件构成、对基板进行规定处理的基板处理装置，其特征在于具有对在订购上述构成部件时所需要的上述各构成部件的部件信息进行存储的存储部；用于拍摄要订购的构成部件的摄像部；经因特网向上述处理装置的卖方发送由上述摄像部拍摄到的上述构成部件的摄像信息的发送部；经因特网对在上述卖方根据上述摄像信息推得的、构成部件候选信息进行接收的接收部；以及显示上述接收到的构成部件候选信息，并显示从该构成部件候选信息中选择出的构成部件的上述存储部中的部件信息的显示部。13.如权利要求12所述的基板处理装置，其特征在于上述摄像部移动自如。14.如权利要求12所述的基板处理装置，其特征在于在上述构成部件候选信息中包含上述构成部件的图像信息。15.如权利要求12所述的基板处理装置，其特征在于在上述部件信息中包含上述构成部件的图像信息。16.如权利要求12所述的基板处理装置，其特征在于具有经因特网取得上述要订购的构成部件的库存信息的取得部。17.一种基板处理装置，它是由多个构成部件构成、对基板进行规定处理的基板处理装置，其特征在于具有对在订购上述构成部件时所需要的上述各构成部件的部件信息进行存储的存储部；用于拍摄要订购的构成部件的摄像部；经因特网向上述处理装置的卖方发送由上述摄像部拍摄到的上述构...

【专利技术属性】
技术研发人员：爱内隆志，铃木昭仁，镰本博继，米村秀一，今府隆志，坂本佳寿久，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]