一种涂敷显影处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术的目的是比现有技术更迅速地进行基板处理装置的部件更换。本发明专利技术的处理装置是由多个构成部件构成、对基板进行规定处理的处理装置，对各构成部件分别附以识别标记，该处理装置具有：与识别标记对应地对在订购构成部件时所需要的各构成部件的部件信息进行存储的存储部；用于输入要订购的构成部件的识别标记的输入部；以及显示与输入的识别标记对应的、存储部中的部件信息的显示部。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及基板的处理装置及运送装置调整系统。
技术介绍
半导体器件的制造是用设置在工厂内的涂敷显影处理装置、曝光装置、刻蚀装置等进行的。例如，用涂敷显影处理装置进行半导体器件制造中的光刻工序，在该涂敷显影处理装置中通常安装了在晶片表面形成抗蚀剂膜的抗蚀剂涂敷单元；对曝光后的晶片进行显影的显影处理单元；以及在抗蚀剂涂敷后、显影处理前后等进行热处理的热处理单元等多个处理单元。另外，在该涂敷显影处理装置中设置了多种运送臂，借助于这些运送臂在各处理单元之间进行基板运送和规定的处理单元内的处理液供给喷嘴等的运送。但是，当在这种涂敷显影处理装置中出现不良情况时，若该不良情况不能迅速消除，则晶片处理恢复迟缓，致使涂敷显影处理装置的工作效率降低，这是不希望的。例如，在构成上述涂敷显影处理装置的部件损坏等情况下，为了更换该部件，晶片制造厂方的装置管理人员必须从部件出售者等处订购部件。这时，为了订购该部件，装置管理人员需要确定损坏部件的名称、部件代号等。但是，如上所述，涂敷显影处理装置有多种处理单元，由许多部件构成。另外，进行订购的晶片制造厂方的装置管理人员通常对涂敷显影处理装置的部件并不精通。因此，在订购部件时，晶片制造厂方的装置管理人员多半不能确定所订购部件的名称等，多半逐次询问涂敷显影处理装置的卖方负责人等。这样，若每次损坏部件都询问卖方的负责人，则至确定部件、进行订购要花费时间，至新的部件到手需要很长的时间，因此，不能迅速进行部件更换。其结果是损坏等的修复花费了时间，晶片处理的恢复迟缓，因而涂敷显影处理装置的工作效率降低。另外，当用上述涂敷显影处理装置处理后的晶片出现不良情况时，作为其原因，可以考虑上述运送臂的不良。即，可以考虑是上述运送臂的运送目的地的停止位置偏离，晶片等运送对象物未被运送至恰当的位置。这时，为消除处理晶片的不良情况，需要调整运送臂的停止位置。但是，作为运送臂停止位置的调整的所谓位置调整是细微的，并且是需要小心的调整，进行该工作的操作人员需要有丰富的知识和经验。另外，还存在由于其操作的危险性而由产业用机器人对运送臂定位并进行操作，对此等操作需要规定的资格的情形。因此，进行运送臂的位置调整时，涂敷显影处理装置的厂方管理人员要依靠有丰富的知识和经验的卖方的负责人，由该负责人赴工厂进行调整。但是，在处理晶片发生不良情况后，至卖方的负责人到达工厂，需要相当的时间。特别是当工厂在外国等远方时，这一点是很显著的。这样，当运送臂的位置调整需要长的时间时，其间就不能进行晶片处理，因此，涂敷显影处理装置的工作效率降低，这是不希望的。另外，即使是卖方的负责人，各个人的知识和经验是不相同的，其调整作业的熟练程度也有差别。因此，当对多个工厂派遣多个负责人时，各负责人的调整精度出现差别。由于该精度的差别直接影响晶片的处理精度，所以例如在各个工厂制造了不同品质的晶片，这是不希望的。
技术实现思路
本专利技术是鉴于这一点而进行的，其目的在于提供为了防止由不良情况引起的涂敷显影处理装置等处理装置的工作效率降低，而迅速进行处理装置的部件更换的晶片等基板的处理装置。另外，其目的还在于提供能够迅速而均一地对运送臂等运送装置的运送目的地的停止位置进行调整的运送装置调整系统和基板处理装置。本专利技术的处理装置是由多个构成部件构成，对基板进行规定处理的处理装置，并对上述各构成部件分别附以识别标记，该处理装置具有与上述识别标记对应地对在订购构成部件时所需要的上述各构成部件的部件信息进行存储的存储部；用于输入要订购的构成部件的识别标记的输入部；以及显示与上述输入的识别标记对应的、上述存储部中的部件信息的显示部。按照本专利技术，通过向输入部输入损坏了的构成部件的识别标记，可以在显示部显示损坏了的构成部件的部件信息。因此，基板制造厂的装置管理人员能够立即知道损坏部件的名称、部件代号等，可以迅速地订购更换部件。因此，无需用电话等询问卖方的负责人等，部件更换可以迅速地进行。其结果是可以较早地消除处理装置的不良情况，能够防止处理装置的工作效率降低。另外，识别标记不一定需要直接附在各构成部件上，例如也可以附在各构成部件的袋子上或构成部件的一览表内等。另外，部件信息可以包含构成部件的部件名称、部件代号、部件销售商名称、部件销售商的电话号码和库存信息等。构成部件是销售单位的部件，在构成部件中例如包括各种喷嘴、各种过滤器、热板、处理容器、加热器、管道、电动机、控制器、螺丝、螺栓等。在本专利技术的基板处理装置中，也可以具有经因特网从上述处理装置的卖方的主存储部取得上述存储部的部件信息的通信部。这时，存储部的部件信息可以逐次更新，处理装置侧能够取得更详细、更新的部件信息。按照本专利技术的另一观点，本专利技术的处理装置是由多个构成部件构成，对基板进行规定处理的处理装置，并对上述各构成部件分别附以识别标记，该处理装置具有用于在订购构成部件时，输入该构成部件的上述识别标记的输入部；经因特网向上述处理装置的卖方发送上述输入的识别标记的发送部；对根据上述发送的识别标记经因特网从上述卖方发送的上述构成部件的部件信息进行接收的接收部；以及显示上述接收的部件信息的显示部。按照本专利技术，基板制造厂的装置管理人员能够得到经因特网从卖方发送来的损坏部件的部件信息。据此，基板制造厂的装置管理人员能够迅速地进行部件订购，迅速地进行部件更换。另外，由于基板制造厂能够取得在卖方存储的部件信息，所以能够知道更详细、更新的部件信息。另外，按照本专利技术的又一观点，本专利技术的处理装置是由多个构成部件构成，对基板进行规定处理的处理装置，该处理装置具有对在订购上述构成部件时所需要的上述各构成部件的部件信息和用于确定上述各构成部件的确定信息进行存储的存储部；用于输入要订购的构成部件的确定信息的输入部；从上述存储部中检索与上述输入的确定信息一致的构成部件的检索部；以及显示上述检索出的构成部件的构成部件候选信息，显示从该构成部件候选信息中选择的构成部件的上述存储部中的部件信息的显示部。按照本专利技术，基板制造厂的装置管理人员能够从构成部件候选信息中选择与损坏了的构成部件种类相同的构成部件，得到损坏部件的部件信息。据此，基板制造厂的装置管理人员能够确定订购部件，迅速地订购该部件。另外，在上述构成部件候选信息中也可以包含部件信息，除此之外，也可以包含例如构成部件的图像信息等。另外，上述的确定信息例如包含构成部件的确定部分的尺寸、构成部件的一般总称、被使用的单元名称等。另外，按照本专利技术的又一观点，本专利技术的处理装置是由多个构成部件构成，对基板进行规定处理的处理装置，该处理装置具有对在订购上述构成部件时所需要的上述各构成部件的部件信息进行存储的存储部；用于拍摄要订购的构成部件的摄像部；经因特网向上述处理装置的卖方发送由上述摄像部拍摄到的上述构成部件的摄像信息的发送部；经因特网对在上述卖方根据上述摄像信息推得的构成部件候选信息进行接收的接收部；以及显示上述接收到的构成部件候选信息，并显示从该构成部件候选信息中选择出的构成部件的上述存储部中的部件信息的显示部。另外，按照本专利技术的另一观点，本专利技术的处理装置是由多个构成部件构成，对基板进行规定处理的处理装置，该处理装置具有对在订购上述构成部件时所需要的上述各构成部件的部件信息进行存储的存储部；用于拍本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板处理装置，它是由多个构成部件构成、对基板进行规定处理的基板处理装置，其特征在于：　对上述各构成部件分别附以识别标记，该基板处理装置具有：与上述识别标记对应地对在订购构成部件时所需要的上述各构成部件的部件信息进 行存储的存储部；用于输入要订购的构成部件的识别标记的输入部；以及显示与上述输入的识别标记对应的、上述存储部中的部件信息的显示部。

【技术特征摘要】
JP 2001-7-12 212178/2001;JP 2001-7-19 219177/20011.一种基板处理装置，它是由多个构成部件构成、对基板进行规定处理的基板处理装置，其特征在于对上述各构成部件分别附以识别标记，该基板处理装置具有与上述识别标记对应地对在订购构成部件时所需要的上述各构成部件的部件信息进行存储的存储部；用于输入要订购的构成部件的识别标记的输入部；以及显示与上述输入的识别标记对应的、上述存储部中的部件信息的显示部。2.如权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于具有经因特网从上述处理装置卖方的主存储部取得上述存储部中的部件信息的通信部。3.如权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于在上述部件信息中包含上述构成部件的图像信息。4.如权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于具有经因特网取得上述要订购的构成部件的库存信息的取得部。5.一种基板处理装置，它是由多个构成部件构成、对基板进行规定处理的基板处理装置，其特征在于对上述各构成部件分别附以识别标记，该基板处理装置具有用于在订购构成部件时输入该构成部件的上述识别标记的输入部；经因特网向上述处理装置的卖方发送上述输入的识别标记的发信部；对根据上述发送的识别标记经因特网从上述卖方发送的涉及上述构成部件的部件信息进行接收的接收部；以及显示上述接收到的部件信息的显示部。6.如权利要求5所述的基板处理装置，其特征在于在上述部件信息中包含上述构成部件的图像信息。7.如权利要求5所述的基板处理装置，其特征在于具有经因特网取得上述要订购的构成部件的库存信息的取得部。8.一种基板处理装置，它是由多个构成部件构成、对基板进行规定处理的基板处理装置，其特征在于具有对在订购构成部件时所需要的上述各构成部件的部件信息和用于确定上述各构成部件的确定信息进行存储的存储部；用于输入要订购的构成部件的确定信息的输入部；从上述存储部中检索与上述输入的确定信息一致的构成部件的检索部；以及显示上述检索出的构成部件的构成部件候选信息，显示从该构成部件候选信息中选择的构成部件的上述存储部中的部件信息的显示部。9.如权利要求8所述的基板处理装置，其特征在于在上述构成部件候选信息中包含上述构成部件的图像信息。10.如权利要求8所述的基板处理装置，其特征在于在上述部件信息中包含上述构成部件的图像信息。11.如权利要求8所述的基板处理装置，其特征在于具有经因特网取得上述要订购的构成部件的库存信息的取得部。12.一种基板处理装置，它是由多个构成部件构成、对基板进行规定处理的基板处理装置，其特征在于具有对在订购上述构成部件时所需要的上述各构成部件的部件信息进行存储的存储部；用于拍摄要订购的构成部件的摄像部；经因特网向上述处理装置的卖方发送由上述摄像部拍摄到的上述构成部件的摄像信息的发送部；经因特网对在上述卖方根据上述摄像信息推得的、构成部件候选信息进行接收的接收部；以及显示上述接收到的构成部件候选信息，并显示从该构成部件候选信息中选择出的构成部件的上述存储部中的部件信息的显示部。13.如权利要求12所述的基板处理装置，其特征在于上述摄像部移动自如。14.如权利要求12所述的基板处理装置，其特征在于在上述构成部件候选信息中包含上述构成部件的图像信息。15.如权利要求12所述的基板处理装置，其特征在于在上述部件信息中包含上述构成部件的图像信息。16.如权利要求12所述的基板处理装置，其特征在于具有经因特网取得上述要订购的构成部件的库存信息的取得部。17.一种基板处理装置，它是由多个构成部件构成、对基板进行规定处理的基板处理装置，其特征在于具有对在订购上述构成部件时所需要的上述各构成部件的部件信息进行存储的存储部；用于拍摄要订购的构成部件的摄像部；经因特网向上述处理装置的卖方发送由上述摄像部拍摄到的上述构...

【专利技术属性】
技术研发人员：爱内隆志，铃木昭仁，镰本博继，米村秀一，今府隆志，坂本佳寿久，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]