下载接触探针及其制造方法和检查装置以及检查方法的技术资料

文档序号:3207713

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一种接触探针的制造方法。其包括:电铸工序,其使用在衬底(521)上配置的、具有和接触探针对应形状的图形框的抗蚀层(522),进行电铸而填平抗蚀层(522)的间隙而形成金属层(526);尖端加工工序,其将上述金属层(526)中成为接触探针尖端...
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