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提供一种在把冲洗液供给到基板的表面而处理基板的场合，可以减少冲洗液（纯水）的使用量的方法。在基板（Ｗ）被向水洗处理部（１０）的处理腔（１２）内搬入的当初，从入口喷嘴（２０）与上部喷雾嘴（２２）向基板供给冲洗液，然后，在基板被从处理腔（１２）...
该专利属于大日本屏影象制造株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过大日本屏影象制造株式会社授权不得商用。

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