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通过在洁净室的地板上铺设的传送轨道（３）上以高速直线行驶的ＲＧＶ（轨导向车），执行洁净室的间隔（设备组）内的晶片的传送。采用一种结构，其中通过分隔间（隔壁）（４）将一个ＲＧＶ在其上行驶的传送区与人员工作区分开，并且在生产线操作时人员不进入传...
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